IEC 62047-36：2019 半导体器件微机电器件第36部分MEMS压电薄膜的环境和介电耐受试验方法标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电器件第36部分：MEMS压电薄膜的环境和介电耐受试验方法标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices–Micro-electromechanicaldevices–Part36:EnvironmentalanddielectricwithstandtestmethodsforMEMSpiezoelectricthinfilms

摘要

微机电系统（MEMS）压电薄膜作为现代微纳传感与执行器的核心功能材料，其环境适应性与介电耐受能力直接关系到器件的可靠性、寿命及产业化应用水平。然而，在IEC62047-36:2019发布之前，国际上缺乏针对MEMS压电薄膜环境和介电耐受试验方法的统一标准，导致不同厂商和检测机构之间的测试结果缺乏可比性，制约了产品的国际贸易与技术交流。IEC62047-36:2019由国际电工委员会（IEC）于2019年4月正式发布，现行有效，归口于频率控制和选择用压电器件与介质器件分类领域。该标准系统规定了MEMS压电薄膜在高温、高湿、温度循环等环境条件下的耐受试验方法，以及介电击穿强度、介电常数和介质损耗等介电性能的测试程序，明确了试验设备要求、试样制备规范、测试条件及结果评定准则。本报告围