光学和光子学 微透镜阵列 第2部分：波前像差的试验方法 标准立项发展报告.docx

光学和光子学微透镜阵列第2部分：波前像差的试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Opticsandphotonics—Microlensarrays—Part2:Testmethodsforwavefrontaberrations

摘要

微透镜阵列是由大量孔径为微米至毫米量级的微透镜按特定规律排列而成的核心微光学元件，广泛应用于自适应光学波前探测、光纤耦合、光场成像与三维显示、激光光束整形、图像传感器增亮及半导体制造等领域。波前像差是决定微透镜阵列光学性能的关键参数，其测量方法的统一对保证产品质量一致性