CN119330296A 一种基于mems的法布里-珀罗腔及封装方法 (北京理工大学).pdfVIP

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  • 2026-10-31 发布于重庆
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CN119330296A 一种基于mems的法布里-珀罗腔及封装方法 (北京理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119330296A

(43)申请公布日2025.01.21

(21)申请号202411440725.2G02B26/08(2006.01)

G01J3/26(2006.01)

(22)申请日2024.10.15

G01J3/42(2006.01)

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

号

申请人北京理工大学重庆微电子研究院

(72)发明人谢会开汤跃严阳阳王晓毅

姜森林焦文龙齐强先李美荣

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