CN119320929A 镀膜设备和镀膜方法 （拉普拉斯(西安)科技有限责任公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119320929A

(43)申请公布日2025.01.17

(21)申请号202411440950.6

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人拉普拉斯（西安）科技有限责任公司

地址713700陕西省西安市西咸新区泾河

新城崇文镇泾河三街76号光电子学研

究与创新中心3号楼3-4层

(72)发明人卢秋霞祁文杰张武

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师宗广静

(51)Int.Cl.

C23C14/35(2006.01)

权利要求书3页说明书16页附图12页