CN119322545A 温度控制方法、半导体加工设备及计算机可读存储介质 (拓荆科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-31 发布于重庆
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CN119322545A 温度控制方法、半导体加工设备及计算机可读存储介质 (拓荆科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119322545A

(43)申请公布日2025.01.17

(21)申请号202411441667.5

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人拓荆科技股份有限公司

地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900

号

(72)发明人董礼吴凤丽张闯闯李中帅

李权梁彬彬高鑫洲王前程

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师徐迪

(51)Int.Cl.

G05D23/30(2006.01)

G05B11/42(2006.01)

权利要求书3页

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