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《半导体用化学机械抛光 纳米氧化硅磨料编制说明》.pdf

《半导体用化学机械抛光 纳米氧化硅磨料编制说明》.pdf

    《半导体用化学机械抛光纳米氧化

    硅磨料》

    编制说明

    中国电子装备技术开发协会

    2026年10月

    一、任务来源，起草单位，协作单位，主要起草人

    （一）任务来源

    根据2020年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战

    略，持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高

    质量发展的能力。为响应市场需求，需要制定完善的半导体用化

    学机械抛光用纳米氧化硅磨料技

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