8现代加工技术-纳米加工技术全文.pptVIP

纳米级加工方法纳米级加工的主要方法：直接利用光子、电子、离子等基本能子的加工。近年来纳米级加工有很大的突破，例如：用电子束光刻和离子刻蚀，己实现0.1?m线宽的加工;扫描隧道显微技术已实现单个原子的去除、搬迁、增添和原子的重组。微米与纳米加工技术可达的水平目前主要纳米级加工方法:纳米级机械加工电子束和离子束加工扫描隧道显微加工技术等一、纳米级机械加工金刚石刀具超精密切削加工有色金属和非金属可能获得Ra(0.02-0.002)?m的镜面,刀具仔细研磨时可切lnm切削厚度的切屑。主要用平面、圆柱面和非球曲面的镜面加工。最近新发展的金属结合剂砂轮的在线电解修整砂轮的ELID镜面磨削技术可以加工出Ra(0.02-0.002)?m的镜面。精密研磨抛光可以加工出Ra(0.01-0.002)?m的镜面。量块、集成电路的硅基片等都是用精密研磨得到高质量表面。二、电子束、离子束和激光加工可用于刻蚀、打孔、切割、焊接、表面处理和表面改性等.电子束加工时，被加速的电子将其能量转化成热能以去除穿透层表面的原子，电子束可以聚焦成很小的束班(中0.1?m)，照射敏感材料，用电子刻蚀可加工出0.1?m的线条宽度而在制造集成电路中实际应用。电子束和离子束加工离子束加工时,因离子直径为0.1nm数量