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CN119017568A 一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法 （山东大学）.pdfVIP

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  • 2026-11-03 发布于重庆
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CN119017568A 一种上下双超声变频协同的碳化硅晶体剥片装置及剥片方法 （山东大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119017568A

    (43)申请公布日2024.11.26

    (21)申请号202411410658.X

    (22)申请日2024.10.10

    (71)申请人山东大学

    地址250100山东省济南市历城区山大南

    路27号

    (72)发明人王荣堃张建飞陈秀芳徐现刚

    张百涛陈秋姚勇平车林林

    李碧雪

    (74)专利代理机构济南圣达知识产权代理有限

    公司37221

    专利代理师张晓鹏

    (51)Int.Cl.

    B28D5/00(2006.01)

    权利要求书2页说明书4页附图4页

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