IECTS 62607-6-3-2020 纳米制造 关键控制特性 第6-3部分：基于石墨烯的材料 域尺寸：衬底氧化 标准立项发展报告.docxVIP

纳米制造关键控制特性第6-3部分：基于石墨烯的材料域尺寸：衬底氧化标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Nanomanufacturing-Keycontrolcharacteristics-Part6-3:Graphene-basedmaterial-Domainsize:substrateoxidation

摘要

石墨烯作为最具代表性的二维纳米材料，其电学、力学和热学性能高度依赖于材料自身的结构完整性，而晶畴尺寸是决定石墨烯宏观性能的核心结构参数之一。在石墨烯的化学气相沉积（CVD）制备及后续转移工艺中，衬底氧化会引入额外的成核位点并破坏石墨烯晶格的连续性，导致晶畴尺寸显著减小、缺陷密度升高，从而严重影响材料品质的一致性和可重复性。然而，在IEC/TS62607-6-3:2020发布之前，国际上缺乏针对衬底氧化这一关键控制特性的统一表征与评价方法，不同实验室和生产企业采用各异的技术路线，测试结果之间缺乏可比性，制约了石墨烯材料的产业化进程和国际贸易往来。为此，国际电工委员会纳米电子技术委员会（IEC/TC113）组织制定了IEC/TS62607-6-3:2020，规定了基于石墨烯的材料中域尺寸与衬底氧化关联特性的标准化表征方法，涵盖术语定义、样品制备要求、测量程序、数据处理及结果报告等