XX-QC-001-F04 洁净区环境检测报告 A1.docxVIP

洁净区环境检测报告

表单编号

xx-QC-001-F04

版本

A/1

页码

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No.

地址

区域

检测状态

￡静态；￡动态；￡空态

检测项目

检测日期

检测依据

检测数据/结果

洁净室静压差

相对位置

实测压差（Pa）

结果判定

高压侧

低压侧

￡符合；￡不符合

可接受标准：洁净级别不同的相邻房间静压差≥5Pa，洁净室与室外大气之间的静压差应≥10Pa，相同洁净级别的不同功能房间压差＞0Pa。

结论：通过￡不通过￡

温湿度

房间编号

房间名称

监测结果

结果判定

温度℃

相对湿度%

￡符合；￡不符合

可接受标准：温度18~28℃，相对湿度45~65％RH

结论：通过￡不通过￡

悬浮粒子、换气次数、沉降菌

房间编号

房间名称

尘埃粒子（个/m3）

换气次数

（次/h）

沉降菌

（cfu/皿）

结果判定

≥0.5μm

≥5μm

层流工作台

工作台名称

气流组织方式

平均风速（m/s）

尘