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基于MEMS工艺的热电堆红外传感器悬臂梁支撑结构设计与仿真

摘要

本论文围绕非制冷红外探测领域对高灵敏度、低功耗传感器的迫切需求，设计了一种基于MEMS体硅工艺的热电堆红外传感器悬臂梁支撑结构。研究以提升探测器响应率为核心目标，通过优化悬臂梁几何尺寸来降低热传导损耗，实现热结区与冷结区的高效热隔离。

全文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→仿真验证”的工程递进思路。第一章分析红外传感的应用痛点与现有热电堆结构的热损耗问题；第二章阐述MEMS体硅加工与热电堆的工作原理，论证多晶硅-铝热电偶对的选型依据；第三章将响应率与热导率等指标量化为具体设计需求；第四章完成传感器总体架构与悬臂梁支撑结构的参数化建模；第五章对热传导路径与热电偶对布局进行详细设计；第六章基于有限元工具实现热电耦合仿真；第七章通过多参数扫描测试结构的热学与电学性能。

设计的核心创新在于采用长悬臂梁与背部体硅腐蚀工艺构建高隔热悬空热结区，并通过仿真定量揭示了支撑梁长度与响应率的非线性关系。仿真结果表明，优化后的悬臂梁结构使热结温升提高约40%，响应率可达85V/W以上，为高性能MEMS热电堆红外传感器的研制提供了可靠的设计依据。

第一章绪论

1.1研究背景

红外探测技术在军事侦察、工业测温、气体分析、智能家居等领域具有不可替代的地位。非制冷红外探测器因其无需低温制冷系统、体积小、功耗低、成本可控等