原创力文档电子级四(二甲氨基)钛标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeTetrakis(dimethylamide)titanium
摘要
电子级四(二甲氨基)钛（TDMAT）是集成电路原子层沉积和化学气相沉积制备氮化钛薄膜的关键前驱体，广泛应用于先进逻辑器件、存储器件铜互连阻挡层、电极及接触孔衬里等工艺。随着先进制程对薄膜纯度、金属杂质、颗粒和批次稳定性要求不断提高，国内缺乏统一的产品国家标准，制约了产品质量评价、供应链协同和国产化应用。GB/T46178-2025《电子级四(二甲氨基)钛》于2025年发布，将于
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