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- 2026-11-05 发布于福建
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xb-t531-2026铽-镝旋转靶材
目录
CONTENTS
02.
04.
05.
01.
03.
06.
标准概述
检验方法
技术要求
检验规则
生产工艺
标志、包装与储运
01
标准概述
标准编制背景与目的
产业需求驱动
随着高端装备制造及新能源产业迅猛发展,铽镝作为关键中重稀土元素在磁光存储等领域需求激增,亟需建立统一规范以支撑产业链协同发展。
目前国内外尚无针对铽/镝旋转靶材的专项标准,导致市场产品规格混杂、质量参差不齐,本标准旨在填补空白,规范市场秩序。
旋转靶材作为物理气相沉积技术的核心耗材,其标准化水平直接决定薄膜产品性能一致性与良率,制定标准旨在提升整体质量管控水平。
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