薄膜晶体管材料与技术MaterialsandTechnologyforThin-FilmTransistors
2薄膜晶体管工作原理和相关功能材料
2.1薄膜晶体管的工作原理和电学特性2薄膜晶体管工作原理和相关功能材料31.TFT的组成:TFT是一个三端有源器件,由栅极、栅绝缘层、有源层、源极(source,S)和漏极等组成。其中,栅绝缘层也叫栅介电层,有源层也叫半导体层或沟道层。2.TFT的工作原理:栅绝缘层设置在栅极与半导体层之间,利用施加于栅极的电压在栅绝缘层上形成电场来控制半导体层上的载流子数量,进而控制源极、漏极之间的电流。TFT的基本结构及工作原理示意图
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