薄膜晶体管材料与技术：第3章-非晶硅薄膜晶体管.pptx

薄膜晶体管材料与技术

MaterialsandTechnologyforThin-FilmTransistors

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非晶硅薄膜晶体管

非晶硅材料

材料结构：

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非晶硅薄膜晶体管

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晶体结构：非晶硅的原子分布从总体上看是杂乱无章的。（长程无序）

从某一个原子出发，在局部区域内（通常在几个原子间距内）的排列具有一定的规律性和周期性（短程有序）

单晶硅和非晶硅的晶体结构

单晶硅和非晶硅的能带结构

能带结构：非晶硅在禁带内会存在大量的缺陷态或局域态（localizedstates）。包括导带底能级和价带顶能级附近的带尾态（bandtailstates）、费米能级附近的深能