原创力文档微机电系统（MEMS）技术MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology—MEMSsiliconpiezoresistivepressureandtemperaturecompositepressuresensorchip
摘要
微机电系统（MEMS）技术作为现代信息技术与精密制造技术深度融合的典型代表，已成为支撑智能传感、工业物联网、汽车电子、医疗健康等战略性新兴产业发展的核心基础技术之一。ME
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