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超纯水制备工程验收标准.docx

超纯水制备工程验收标准.docx

    泓域咨询风险评估报告编制

    PAGE

    超纯水制备工程验收标准

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、工程范围 8

    三、术语与定义 9

    四、基本要求 11

    五、工艺系统要求 14

    六、设备与材料要求 16

    七、设备安装验收 18

    八、管道安装验收 20

    九、电气系统验收 22

    十、仪表与控制系统验收 26

    十一、洁净施工要求 29

    十二、系统清洗与消毒 31

    十三、单机试运行 33

    十四、系统调试 36

    十五、制水性能验收 38

    十六、水质检测与判定 43

    十七、运行稳定性考核 48

    十八、安全与环保验

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