腐蚀监检测技术.pptVIP

4、电感探针数据采集器的研制5、信号的处理和运算电路运算公式推导：设输入电压Ui=UesinωtiR=Ui/R=Uesinωt/RU0=Uesinωt/R(jωL+r)=Uesinωt/Rejφ(φ=arctgωL/r)=Ue/Rsin(ωt+φ)步骤一、将输入电压Ui和输出电压U0相乘，得合成电压为：Ui×U0=Ue/Rsin(ωt+φ)×Uesinωt=Ue2/Rsin(ωt+φ)×Uesinωt=Ue2/2R[cosφ-cos(2ωt+φ)]-----(1)步骤二、将输出电压U0乘上正交振荡器余弦输出，得合成电压为：U0×Ue^=Ue/Rsin(ωt+φ)Ue×cosωt=Ue2/Rsin(ωt+φ)×cosωt=Ue2/2R[sinφ+sin(2ωt+φ)]-----(2)步骤三、(1)、(2)式经低通滤波后：(1)式变为Ui×U0=Ue2/2R×cosφ(电阻分量)(2)式变为Ue^×U0=Ue2/2R×sinφ（电感分量）(3)(3)式经差分变换为：⊿U=Ue2/2Rω⊿L。（4）6、关键技术指标测量精度：20nm；数据采集器的