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面向深紫外和红外探测器的铝镓氮、氧化钒等化合物靶材的国产化现状分析

全局数据规范：全篇所有量化数据须标注来源与时间口径；历史数据须真实可溯，预测性数据须注明推断依据与关键假设；多采用表格呈现数据与对比信息。

本报告说明

本报告聚焦深紫外（DUV）与红外（IR）探测器用核心上游材料——铝镓氮（AlGaN）与氧化钒（VOx）化合物靶材的国产化现状。核心发现表明，国产靶材在密度、纯度等基础物理指标上已大幅缩小与进口产品的差距，但在氧含量偏差控制、大尺寸致密化工艺及溅射成膜的光电性能一致性方面仍存短板。报告通过详实的数据对比，量化评估了国内外产品的技术代差，并给出了未来五年的市场预测