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激光干涉仪检测作业规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 5
三、术语与定义 7
四、检测原理 10
五、人员职责 12
六、设备组成 14
七、仪器技术要求 18
八、辅助器具要求 22
九、检测环境要求 24
十、检测安全要求 25
十一、检测前准备 27
十二、仪器状态确认 31
十三、被测设备准备 32
十四、测量基准建立 35
十五、光路布置与调整 38
十六、检测参数设置 40
十七、直线运动检测 43
十八、角度误差检测 46
十九、平面度检测 48
二十、
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