GB 50747 超纯水精处理设计指南中文版 抛光混床与终端过滤.docxVIP

PAGE

GB50747超纯水精处理设计指南中文版抛光混床与终端过滤

免责声明：本文为电子工业纯水与洁净厂房领域的工程技术资料，依据公开技术资料、通用工程实践与设备选型经验整理编写，供设计、施工、监理及运行管理人员作技术参考。文中所列水质指标、工艺参数、计算公式、材料性能与配置方案均对应特定边界条件，不构成对任何具体项目的设计结论。标准编号、版本状态与条文内容应以国家正式发布的标准文本为准，工程设计文件尚须经具备相应资质的设计单位校审并由注册工程师签章后方可实施。使用者应结合原水全分析报告、工艺用水清单、设备制造商技术文件及项目所在地法规要求独立核定；因直接套用本文内容导致的工程偏差、经济损失或第三方索赔，本文编写方不承担相应责任。

1精处理段的系统定位与边界条件

1.1工艺链中的位置与功能分工

超纯水精处理段位于电去离子（EDI）之后、闭式循环供水管网之前，是工艺链中最后一道可量化削减溶解离子、总有机碳（TOC）、颗粒与细菌的单元。典型序列为原水调节、多介质过滤、活性炭或软化、超滤（UF）、一级反渗透（RO）、二级RO、脱气膜或真空脱气、EDI、抛光混床、185nm紫外TOC降解、终端超滤、闭式循环供水、用水点、回水与精处理循环。精处理段不承担主脱盐负荷，其任务是把EDI产水中残余的微量离子、树脂粉屑、微生物代谢产物以及管网滞留颗粒压到电子级水内控