GB 50747 纯水系统水质监测点设置指南中文版 在线仪表配置.docxVIP

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GB50747纯水系统水质监测点设置指南中文版在线仪表配置

免责声明：本文为电子工业纯水与洁净厂房领域的工程技术资料，依据公开技术资料、通用工程实践与设备选型经验整理编写，供设计、施工、监理及运行管理人员作技术参考。文中所列水质指标、工艺参数、计算公式、材料性能与配置方案均对应特定边界条件，不构成对任何具体项目的设计结论。标准编号、版本状态与条文内容应以国家正式发布的标准文本为准，工程设计文件尚须经具备相应资质的设计单位校审并由注册工程师签章后方可实施。使用者应结合原水全分析报告、工艺用水清单、设备制造商技术文件及项目所在地法规要求独立核定；因直接套用本文内容导致的工程偏差、经济损失或第三方索赔，本文编写方不承担相应责任。

1监测体系的设计边界与指标分级

1.1监测目标与水质指标分级

纯水系统在线监测的目的不是复现实验室分析，而是给出连续、可追溯、可联动的过程判据。电子级水按GB/T11446.1-2013分为EW-I至EW-IV四级，EW-I要求25℃电阻率不低于18MΩ·cm、总有机碳（TOC）不超过20μg/L、不小于0.1μm颗粒不超过10个每mL、细菌不超过1个每mL；先进制程内控通常严于分级指标，TOC控制在1至5μg/L、溶解氧（DO）不超过10μg/L、单项金属离子0.01至