气相沉积设备运维安全操作规程.docx

气相沉积设备运维安全操作规程

气相沉积设备运维安全操作规程

第一章总则

1.1目的与适用范围

本规程旨在规范气相沉积设备（CVD、PECVD、MOCVD等类型）的日常运行操作、维护保养、故障处置及应急响应等全过程安全管理行为，从源头防范火灾、爆炸、中毒、窒息、灼伤及机械伤害等安全事故，切实保障作业人员的人身安全和健康，同时确保设备安全、稳定、高效运行，延长设备使用寿命。

本规程适用于本厂区内所有气相沉积工艺设备的操作人员、工艺技术人员、设备维护保养人员及生产管理人员。凡进入气相沉积设备作业区域的所有人员，均须严格遵守本规程的相关规定。外来施工、学习参观等相关人员，应执行本规程中涉及相应区域