等离子体表面处理技术常识PPT课件.ppt

-*k*-*k*等离子体表面处理技术讲座-------奥坤鑫科技有限公司主讲:刘善双*1.什么是等离子体及怎样建立等离子体;等离子体(中文)=PLASMA(英文)=电浆(台湾)等离子体的发现:1879、英国物理学家、WilliamCrookes----物质第四状态1929、美国化学物理学家、Langmuir----等离子体等离子体定义:部分或是全部电离的气体;主要包括:电子、离子、中性基团、分子、光子*固体?液体?气体?等离子体

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