半导体超纯水系统竣工图编制规范中文版 图纸归档要求.docxVIP

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半导体超纯水系统竣工图编制规范中文版图纸归档要求

一、适用范围与编制依据

1.1适用边界与系统对象

本技术规定适用于半导体晶圆厂超纯水（UPW）系统工程建设阶段竣工图的编制、改绘、签认、目录组织、归档与移交。系统对象涵盖预处理、主处理、抛光混床、分配循环管网、热水消毒回路、回收与废水接口、在线仪表与取样系统，以及与之配套的支吊架、绝热、电气、自控与洁净室接口。竣工图覆盖的专业包括工艺管道、给排水、设备、结构生根、暖通、电气、自控与洁净围护，凡构成实体工程且影响运行、检修、改造与验证的图面信息均应纳入。编制依据为现行工程建设规范的一般要求、项目档案管理要求、施工合同、经会签的施工图、设计变更、现场签证与材料代用文件，文中所列制度名称仅作为编制工作的索引使用，不代替具体合同条款与档案管理细则。

1.2术语定义

竣工图指反映工程实际建成状态、并经规定程序签认的图纸，区别于施工阶段用于指导施工的施工图。改绘指在原始施工图底图上以规定方式标注变更内容形成竣工图，重新绘制指变更量大或底图不可用而按实际状态另绘新图，云线指圈注变更区域的图面标记，版次代号指标识图纸修订序列的字符，竣工章指加盖于图面以确认竣工图效力的专用章，元数据指描述电子文件属性与检索条件的结构化信息。设备材料清册指按系统分区列出设备、管材、阀门、管件与仪表实际型号数量的清单，质量记录指试压、冲洗、钝化、焊接