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真空设备设计与制造手册

1.第1章真空设备设计基础

1.1真空技术原理

1.2真空设备分类与应用

1.3真空系统设计原则

1.4真空设备材料选择

1.5真空设备安装与调试

2.第2章真空泵系统设计

2.1真空泵类型与性能参数

2.2真空泵选型与匹配

2.3真空泵安装与密封设计

2.4真空泵的维护与保养

2.5真空泵的性能测试与优化

3.第3章真空腔体与密封结构设计

3.1真空腔体结构设计

3.2真空密封技术与材料

3.3真空腔体与密封的连接设计

3.4真空腔体的气密性测试

3.5真空腔体的耐压与抗变形设计

4.第4章真空设备控制系统设计

4.1真空设备控制系统的组成

4.2控制系统选型与配置

4.3控制系统软件设计

4.4控制系统与真空设备的联动

4.5控制系统的安全与报警设计

5.第5章真空设备的制造工艺与质量控制

5.1真空设备制造流程

5.2制造工艺与加工方法

5.3真空设备的表面处理

5.4真空设备的装配与调试

5.5真空设备的检测与验收