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液晶面板阵列光刻套刻偏差补偿工艺

一、概述

1.液晶面板阵列光刻技术简介

液晶面板阵列光刻技术是液晶显示产业中至关重要的核心技术之一，它直接决定了液晶面板的显示效果和性能。这项技术利用光刻机将图案转移到液晶面板的基板上，形成微小的像素结构，从而实现图像的显示。随着显示技术的不断发展，液晶面板阵列光刻技术也在不断进步，以满足更高分辨率、更小像素尺寸和更薄面板的需求。

目前，液晶面板阵列光刻技术主要分为两种类型：传统光刻技术和先进光刻技术。传统光刻技术主要采用193nm波长光源，其分辨率通常在40nm左右，适用于生产中低分辨率液晶面板。而先进光刻技术，如193nm