AS镀膜培训报告总结课件.pptVIP

AS培训报告*气之作用氩气:轰击之作用氧气:氧化镀膜材料之作用氮气:清洁设备之作用氦气:检漏之作用*AS镀膜分类AS镀膜为三大分类:蒸发镀膜.溅射镀膜.离子镀膜蒸发镀膜:在高真空中通过加热蒸发方式使镀料转化为气体凝聚在镀物表面溅射镀膜:在高真空中利用荷能粒子轰击镀料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积的一种技术离子镀膜:用一定能量的离子轰击靶材，分子脱离其表面，使靶材分子输运到衬底上的一种成膜方法*AS镀膜机台部位名称英文简称中文名称英文简称中文名称IB离子源FV前级阀门（辅助阀）EB电子枪FL流量开关DEF除霜RV低抽阀（粗抽阀）MV高抽阀（主阀）SRV慢粗抽阀DP扩散泵NT中和器RP机械泵RH高温电阻蒸发机MBP罗茨泵TVP冷冻管DV闸门SLV慢泄压阀LV放气阀门MWV主冷却水阀WV真空室冷却水阀*AS操作面板项目操作面板九大项目（日.英.中)ライン监視Line生产线监视全体Overview真空动作监视搬送Carry产品输送成膜ブロセスCoat-pro