光电系统实训指导 课件 实训九：激光微细加工技术与应用.pptx

实训九：激光微细加工技术与应用4-f耦合·扫描振镜·显微成像·精密刻蚀

实训目的了解激光微加工实训系统的构成与工作原理。掌握激光微细加工的基本流程，包括光路校准、参数设置、图形绘制。记录激光加工的实验效果，分析激光加工参数及聚焦物镜参数对加工效果的影响。学习利用显微成像模块进行精确定位与尺寸标定。

理论基础（1）——激光微细加工原理基本原理：利用高度会聚的高能量激光束在样品表面产生局部“损伤”或改性，形成微小图案或结构。关键要素笔画微细聚焦光斑尺寸决定分辨率，公式：d≈M2λf/D。需选用短波长、短焦距聚焦镜。精确定位叠加显微成像装置，实时观察加工区域，实现位置精确对准与尺寸