超纯水系统在线仪表安装图集中文版 取样点与管道连接.docxVIP

PAGE

超纯水系统在线仪表安装图集中文版取样点与管道连接

一、适用范围与系统边界

1.1适用仪表类型与测量对象

本图集适用于半导体晶圆厂超纯水（UPW）系统中在线分析仪表的取样点设置、取样管路与管道连接、传感器安装、信号接口、校准比对与验收，覆盖仪表包括在线电阻率仪、总有机碳（TOC）分析仪、颗粒计数器、在线硅表、溶解氧（DO）分析仪、浊度仪、pH计与氧化还原电位（ORP）计。测量对象为电阻率18.2MΩ·cm（25℃）量级的超纯水，TOC常控1~5μg/L，硼控制在0.05μg/L量级，硅控制在0.5μg/L量级，溶解氧按工艺要求控制在5~20μg/L，颗粒按不小于0.05μm粒径计数，菌落总数≤1CFU/100mL量级。

在线仪表的读数可靠性首先取决于取样，而非仪表本体精度。超纯水离子与有机物含量极低，水样离开主循环后极易因管路析出、滞流、气泡附着、温度变化与大气渗入而改变组成，取样环节引入的偏差常大于仪表自身的测量误差。因此图集把取样点位置、取样管段流速、死体积控制、传感器安装方式与连续置换作为核心规定，仪表选型参数仅在取样条件成立的前提下具有意义。各类仪表按测量对象与控制目的配置，下表给出对应关系，供施工图设计与仪表报审核对。

仪表类型

测量对象

常用量程

主要设置目的

对取样的敏感项

在线电阻率仪

电阻率，温度补偿至