原创力文档- 0
- 0
- 约2.14千字
- 约 16页
- 2026-11-10 发布于浙江
- 举报
薄膜的物理气相沉积
－磁控溅射法姚斌教授吉林大学物理学院SubstrateThinFilm薄膜及其应用真空蒸发镀膜装置真空蒸镀法物理气相沉积的发展衬底托架钟罩膜厚测量器挡扳蒸发源电源可蒸镀材料：低熔点和汽化点的金属，如：In，Al，Au等膜厚控制范围：微米量级磁控溅射法辉光放电区溅射靶衬底阳极溅射气体至真空泵绝缘磁控溅射镀膜原理示意图磁控溅射装置照片可制备材料：金属、半导体，绝缘体，复合材料膜厚控制范围：几十纳米分子束外延法可制备材料：金属、半导体，绝缘体，复合材料膜厚控制范围：10-1
您可能关注的文档
- 近代物理实验(3.2)--真空获得与测量.ppt
- 近代物理实验(4.2)--X射线衍射物相分析实验.ppt
- 近代物理实验(5.2)--流水式核磁共振.ppt
- 近代物理实验(6)--学生答辩ppt.pdf
- 近代物理实验(6.2)--微波的波导传输与检测.ppt
- 近代物理实验(7)--学生答辩ppt.pdf
- 近代物理实验(7.2)--振动样品磁强计.ppt
- 近代物理实验(8)--2014 小论文.pdf
- 近代物理实验(8.2)--钠原子光谱.ppt
- 近代物理实验(9)--2014 小论文.pdf
- 2026年广东深圳市龙岗区审计局招聘笔试题库附带答案详解.doc
- 2026年幼儿教师资格证考试保教知识与能力真题汇编.doc
- 2026年安顺职业技术学院马克思主义基本原理概论期末考试题必考题.doc
- 医保局的自查自纠通报医保违规高频问题问题总结2026.pdf
- 2026年消防宣传月全套资料汇编（活动方案、日期安排、演练方案及评估、实操考核、启动会讲话、主持词）.pdf
- ICU质控督导检查表总结2026.pdf
- 法律 法规-单选题3.pdf
- 《中华人民共和国安全生产法》-单选题（3）.pdf
- 《中华人民共和国安全生产法》-判断题（1）.pdf
- 《2型糖尿病患者戒烟国际共识》将戒烟纳入糖尿病常规管理路径2026.pdf
文档评论（0）