超纯水系统施工图设计审查要点清单中文版 图纸会审.docxVIP

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超纯水系统施工图设计审查要点清单中文版图纸会审

一、适用范围与会审依据

1.1适用对象与审查阶段

本清单规定半导体晶圆厂超纯水（UltrapureWater，缩写UPW）系统施工图会审的组织方式、审查要点、问题处置与交付签认要求，适用于新建、扩建及改造工程中主制备系统、抛光循环系统、分配管网、药剂投加、废液中和与配套站房的施工图审查。适用阶段自受控版施工图分发起，经资料预审、专业内审、跨专业会审、联合会审、问题销项与修订图确认，至会审纪要签发和交付物归档止。清单服务于设计院各专业、施工总承包单位、监理单位、设备与管材厂家、第三方审图机构以及业主厂务工程部，作为统一的审查尺度。

超纯水系统施工图会审的难点在于多专业接口密集且污染控制要求隐含在图面细节中。分配环路的一处倒坡、一段超长死腿、一个未标注排净点的低点，在图面上只是若干线条与标注的偏差，投运后却表现为电阻率与总有机碳（TotalOrganicCarbon，缩写TOC）长期不达标，且排查需停产拆解。审查不能停留在图面完整与签字齐全，须把污染控制、可维护性、可施工性与验收可操作性逐项转化为可核对的要点，逐条给出判定口径。

1.2会审依据与文件范围

会审依据包括项目技术规格书、工艺包与工艺管道仪表流程图、设备数据表、管道材料等级表、岩土工程勘察报告、洁净室设计条件、现行工程建设规范的一般要求以及设备与管