光刻工艺安全操作培训题及答案
一、单项选择题(每题2分,共30分)
1.光刻工艺中最常用的光刻胶溶剂丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)属于以下哪类危险化学品?
A.爆炸品
B.易燃液体
C.剧毒化学品
D.腐蚀品
答案:B
解析:PGMEA闪点约42℃,属于中闪点易燃液体,遇明火、高热有燃烧爆炸风险。
2.接触四甲基氢氧化铵(TMAH)显影液时必须佩戴的手部防护用品是?
A.棉纱手套
B.一次性PE手套
C.耐酸碱橡胶手套
D.防静电手套
答案:C
3.光刻曝光工序使用的高压汞灯、准分子激光器产生的主要职业危害是?
A.红外辐射
B.紫外辐射
C.电离
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