光刻工艺安全操作培训题及答案.docx

光刻工艺安全操作培训题及答案

一、单项选择题(每题2分,共30分)

1.光刻工艺中最常用的光刻胶溶剂丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)属于以下哪类危险化学品?

A.爆炸品

B.易燃液体

C.剧毒化学品

D.腐蚀品

答案:B

解析:PGMEA闪点约42℃,属于中闪点易燃液体,遇明火、高热有燃烧爆炸风险。

2.接触四甲基氢氧化铵(TMAH)显影液时必须佩戴的手部防护用品是?

A.棉纱手套

B.一次性PE手套

C.耐酸碱橡胶手套

D.防静电手套

答案:C

3.光刻曝光工序使用的高压汞灯、准分子激光器产生的主要职业危害是?

A.红外辐射

B.紫外辐射

C.电离

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档