GBT 44849-2024 微机电系统（MEMS）技术 金属膜材料成形极限测量方法标准立项发展报告.docx

微机电系统（MEMS）技术金属膜材料成形极限测量方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)Technology—MeasurementMethodforFormingLimitofMetallicFilmMaterials

摘要

微机电系统（MEMS）技术作为国家战略性新兴产业的核心支撑技术之一，其器件制造大量依赖金属薄膜材料的微成形工艺。金属膜材料在微尺度下的成形极限直接决定MEMS器件的结构完整性与服役可靠性，然而长期以来国内缺乏统一的成形