原创力文档ICS83.140.50CCSG43
T/CASME1953—2025
半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
Perfluoroetherrubbersealingproductsforsemiconductorequipment
2025-03-21发布2025-04-21实施
布发
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中国中小商业企业协会
T/CASME1953—2025
Ⅰ
目次
前言 Ⅲ
1范围
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