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半导体器件仿真中流体动力学模型基本方程推导.pdf

半导体器件仿真中流体动力学模型基本方程推导.pdf

    EEE

    533：器件与工艺仿真

    2001年春季

    器件仿真中流体动力学模型的理论描述：

    1.基本方程的推导

    2.系综弛豫率及其计算

    3.平衡方程的离散化

    授课：德拉吉察·瓦西莱斯卡

    亚利桑那州立大学电气工程系

    EEE533:SemiconductorDevicean

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