CN119369310A 一种碳化硅晶圆减薄砂轮及其制备方法 (东莞市中微力合半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-10 发布于重庆
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CN119369310A 一种碳化硅晶圆减薄砂轮及其制备方法 (东莞市中微力合半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119369310A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411420037.X

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人东莞市中微力合半导体科技有限公

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