IEC 62899-503-3：2021 印刷电子.第503-3部分质量评定.印刷薄膜晶体管接触电阻的测量方法.传输长度法标准立项发展报告.docxVIP

印刷电子第503-3部分：质量评定印刷薄膜晶体管接触电阻的测量方法传输长度法标准立项发展报告

EnglishTitle

StandardizationDevelopmentReport:Printedelectronics-Part503-3:Qualityassessment-Measuringmethodofcontactresistancefortheprintedthinfilmtransistor-Transferlengthmethod

摘要

印刷电子技术因其柔性、低成本、大面积和可定制化优势，正在显示背板、射频识别、传感器、可穿戴设备等领域快速发展。印刷薄膜晶体管（PTFT）是印刷电子电路的核心器件，其接触电阻直接影响开态电流、跨导、迁移率提取、功耗与电路仿真精度。然而，在IEC62899-503-3:2021发布前，印刷TFT接触电阻的测量方法缺乏统一规范，不同实验室数据可比性不足，制约了材料筛选、工艺优化和产业化质量控制。IEC/TC119印刷电子技术委员会于2021年8月24日正式发布IEC62899-503-3:2021，标准规定了采用传输长度法（TLM）测量印刷薄膜晶体管接触电阻的方法，包括测试结构设计、样品制备、电学测量条件、数据拟合、接触电阻与接触电阻率计算、不确定度评估和报告要求。该标准通