CN119381245A 一种有效去除12英寸硅衬底体内铜沾污的方法 (山东有研半导体材料有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-11 发布于重庆
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CN119381245A 一种有效去除12英寸硅衬底体内铜沾污的方法 (山东有研半导体材料有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119381245A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411452746.6B08B11/00(2006.01)

B08B7/04(2006.01)

(22)申请日2024.10.17

B08B7/00(2006.01)

(71)申请人山东有研半导体材料有限公司B08B3/08(2006.01)

地址253012山东省德州市经济技术开发

区袁桥镇东方红东路6596号(中元科

技创新创业园)A座921室

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