《半导体工厂设计规范》全解析.pptxVIP

洁净厂房设计半导体工厂设计规范全解析洁净厂房设计·核心条款·工程落地汇报时间：2026

目录内容导览01规范总览与版本沿革建立框架与适用范围05抗震与结构安全主体与非结构构件设防02空气洁净度等级分级体系与ISO对照06消防安全与防火分区火灾分类与疏散设施03空气净化与暖通系统压差换气与过滤配置07施工验收与节能趋势验收标准与绿色低碳04动力与公用工程给排水工业管道与电气《半导体工厂设计规范》全解析02/30

规范总览与版本沿革一部规范，撑起洁净厂房的设计底线01

01·总则规范定位与适用范围01现行版本GB50073-2013实施?2013年9月1日实施，替代GB50073-2001主编?中国电子工程设计院管理?工业和信息化部负责日常管理02适用对象新建、扩建、改建的洁净厂房覆盖工业洁净厂房与生物医药洁净厂房电子半导体精密制造医药GMP医疗器械食品实验室03核心控制空气中悬浮粒子浓度洁净度分级的核心控制指标温湿度压差气流组织静电消防04两条排除边界不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室防火与疏散章节，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房及地下洁净厂房《半导体工厂设计规范》全解析04/30

规范解读·检索框架章节体系与条文属性章节体系?查找条文的索引9章3附录01总则02术语03空气洁净度等级04总体设计05建筑06空气净化0