洁净厂房废气处理技术指南(最新版)
第一章总则
一、适用范围
本指南适用于电子制造、生物制药、食品加工、精密仪器生产等行业所有等级洁净厂房的废气处理系统设计、安装、调试、运行、维护全流程管理,覆盖1级至9级所有洁净度等级的生产场景。新建、改建、扩建洁净厂房的废气处理项目必须严格参照本指南执行,已建成投运的现有洁净厂房废气处理系统需在本指南发布后12个月内完成对标升级改造。
本指南不适用于涉及放射性污染物、剧毒类一级管控废气的特殊洁净厂房场景,此类场景需额外符合核安全管理、危险化学品管控相关专项法规要求。
二、编制依据
本指南全部技术要求均参照现行国家及行业标准制定,具体包括《中华人民共和国大
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