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微机电系统(MEMS)技术

MEMS磁场传感器技术规范

Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology—TechnicalspecificationofMEMSmagneticfieldsensor

Ⅰ

目次

前言 Ⅲ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4符号 2

5分类 3

5.1磁敏感轴方向 3

5.2原理 4

5.3测量磁场类型 4

5.4输出信号类型 4

6技术要求 4

6.1基本要求 4

6.2电气要求 5

6.3性能要求 6

6.4环境适应性与可靠性 7

7试验方法 8

7.1试验条件 8

7.2外观 9

7.3电气试验 9

7.4性能试验 10

7.5环境适应性与可靠性试验 15

附录A(资料性)磁学量单位换算 18

参考文献 19

1