氪氖混合气中杂质测定色谱法 标准立项发展报告.docx

氪氖混合气中杂质测定色谱法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofImpuritiesin1.25%Krypton/NeonGasMixturebyChromatography

摘要

随着半导体制造、航空航天、高端照明及激光技术等战略性新兴产业的快速发展，高纯氪气/氖气混合气作为关键工艺气体，其纯度对产品质量和工艺稳定性具有决定性影响。DB13/T6136-2025《1.25%氪气/氖气混合气中杂质的测定色谱法》于2025年5月27日正式发布实施，填补了河北省在特种气体杂质检测领域的标准空白