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2026超精密加工前沿融合：6G天线阵列加工中的技术瓶颈突破.docx

2026超精密加工前沿融合：6G天线阵列加工中的技术瓶颈突破.docx

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    2026超精密加工前沿融合：6G天线阵列加工中的技术瓶颈突破

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    266281.1太赫兹频段下的尺寸精度与表面粗糙度标准 2

    961.2大规模异构集成对结构复杂度的挑战 4

    9282二、超精密加工技术的现状与局限分析 6

    75282.1传统单点金刚石车削在微纳结构中的误差来源 6

    165172.2现有激光加工技术在热影响区控制上的不足 8

    13484三、多物理场耦合下的加工机理创新 10

    256453.1飞秒激光与等离子体相互作用的非线性调

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