《半导体厂房废气处理规范》核心要点解读.pptx

EHS技术规范解读半导体厂房废气处理规范核心要点解读分类收集·分质处理·达标排放汇报时间：2026

内容导览01规范总纲与废气特性建立框架与分类认知02废气收集与系统规范分类收集与防爆防腐03工艺流程设计分质收集与末端净化04设备选型与材料规范材质判据与选型依据05排放标准与合规要求国家与地方限值体系06工程案例与行业趋势标杆实践与能力升维

规范总纲与废气特性微量、高毒、多组分、间歇排放01

规范解读规范定位与废气五大类核心依据GB51401-2019半导体厂房废气系统设计的直接依据，核心落脚点：分质收集、分类处理。01酸性废气氟化氢、氯化氢、氮氧化物来自蚀刻与清洗工序02碱性废气