《半导体厂房废气处理规范》落地解读.pptx

规范解读·技术文件半导体厂房废气处理规范落地解读规范·工艺·达标·运维汇报时间：2026

CONTENTS解读导览SEMICONDUCTOREXHAUSTCODEGUIDE规范体系与总体要求建立框架与强制红线废气分类与系统设计按不相容原则划分系统酸碱废气处理系统逐条解读洗涤与设备条款VOCs废气处理系统逐条解读收集与燃烧条款特种废气与PFCs系统逐条解读特气与温室气体条款排放限值与合规判定对照限值表与排气筒规则运维落地与检查清单把条款转化为执行动作01020304050607

规范体系与总体要求先立框架，再谈落地01

一条强制性的工程标准GB51401—2019《