CN119927791A 一种晶圆衬底化学机械研磨加工装置及加工方法 (北京科技大学).pdfVIP

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  • 2026-11-15 发布于重庆
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CN119927791A 一种晶圆衬底化学机械研磨加工装置及加工方法 (北京科技大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119927791A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510436842.X

(22)申请日2025.04.09

(71)申请人北京科技大学

地址100083

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