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基于电容传感器的薄膜厚度在线测量（非接触）

摘要

本文针对薄膜生产过程中厚度在线测量精度不足、易受干扰且依赖接触式测量的问题，设计并实现了一套基于电容传感原理的非接触式薄膜厚度在线测量系统。系统核心在于利用传感器探头与金属导辊构成平行板电容器，薄膜穿过其间引起介电常数变化，从而改变电容值。通过高精度电容检测电路将电容变化转换为电压信号，经信号处理后，结合标定模型反演出薄膜厚度。

全文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路展开。首先，分析了薄膜生产线对厚度实时监控的迫切需求及现有技术的局限性。其次，完成了系统的总体架构设计，包括传感单元、信号处理单元和上位机软件。随后，详细设计了电容检测电路、信号调理算法及厚度标定模型。系统实现后，通过实验平台对多种已知厚度的薄膜样品进行测量，以验证系统精度与稳定性。

设计的核心创新点在于采用非接触式电容传感方案，避免了传统接触测量对薄膜表面的损伤与磨损；设计了基于最小二乘法的分段标定策略，有效提升了全量程范围内的测量线性度与精度。测试结果表明，系统在10-200μm厚度范围内测量误差小于±2μm，重复性精度优于1μm，满足工业生产在线监测的初步要求。

第一章绪论

1.1研究背景

在塑料薄膜、纸张、金属箔等连续带材的生产过程中，厚度是衡量产品质量的核心指标之一。厚度均匀性直接影响产品的机械强度、光学性能及