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半导体芯片车间初步设计.docx

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    半导体芯片车间初步设计

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、设计原则 5

    三、建设规模与产品方案 8

    四、厂址条件与建设条件 11

    五、工艺技术方案 14

    六、生产组织与人员配置 21

    七、工艺设备方案 26

    八、总图布置与厂区运输 29

    九、建筑工程设计 32

    十、结构工程设计 36

    十一、洁净厂房设计 40

    十二、暖通空调与环境控制 44

    十三、给排水工程设计 49

    十四、纯水与废水处理系统 52

    十五、气体与化学品供应系统 56

    十六、供配电与照明系统 58

    十七、自动化与信息化系统

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