晶圆测试作业指导书.pdf

晶圆测试作业指导 测试厂晶圆测试作业指导 1．目 的 为使测试分厂中测生产线作业有规则可循，故定订此工作规范作为生产线生产时的依据。 2．范 围 测试分厂所有人员 3．相关单位职责 测试分厂生产部门 4．作业安全卫生即环保须知 4.1 人员操作应注意的安全事项: 4.1.1 N2 气体物品危害分类是属于非易燃，非毒性气体，对人体健康危害效应为吸入造成窒 息，为非毒性气体，但若取代空气中的氧气会造成窒息，当含氧浓度低于 19.5%，会有 头痛，晕眩，反胃，呕吐，意识不清或者死亡。 4.1.2 IPA使用时人员操作应注意的安全事项： IPA为非常易燃的化学有机溶剂 当吸入时：呼吸道会有刺激性的症状 皮肤接触：其发生去油现象，可能造成二次灼伤 眼睛接触：发生黏膜刺激 食入：头昏、酒醉、失去意识、昏迷、大量食入则导致呼吸痉挛 4.2安全卫生及污染预防措施: 4.2.1 N2 安全卫生：提供好的通风以避免累积超过暴露浓度，工作区域应监测含氧量以确认。 4.2.1.1 氧气浓度措施: ⅰ．工作场所严禁抽烟或饮食 ⅱ．维持作业场所清洁 4.2.2 IPA的安全卫生以及预防措施: ⅰ．卫生措施：工作后尽速脱掉污染的衣物，洗净后才可再穿戴或丢弃，并且须告知洗衣人 员污染物的危害性。处理此物后，须彻底清洁。提供适当的预防设备及通风设备以避免 吸入蒸汽，并确保室内空气流通。 ⅱ．IPA污染预防措施: IPA 必须储存在整体换气装置或局部排气系统良好的空间，且系统必须是防暴。安全处 于储存方法，处理时应避免静电放电。 4.3 安全卫生及环保事故处理程序 4.3.1 当有N 外泄情形发生时或氧气含氧量监测系统发生时，个人应注意事项: 2 ⅰ．撤离所有人员 ⅱ．穿着适当的个人防护S CBA ⅲ．对该区域进行通风换气，并监测含氧量 4.3.2 使用IPA时，确认手戴防有机手套，当有IPA外泄时，应立即用无尘布擦拭。 第 1 页 共 1 页 晶圆测试作业指导 5． 主题内容 5.1测试流程图（Testing Flow Chart） QC TEST-INV BURN-IN BURN-IN SORT1 N N N N LASER- SORT- SORT SORT SORT REP BAKE Y Y Y